In plasmaprosessor is in apparaat dat brûkt wurdt foar plasmaferwurking. Syn struktuer bestiet út de folgjende haadkomponinten:
Discharge keamer: De ûntlading keamer is de kearn komponint fan in plasma prosessor. It brûkt hege AC spanning as radiofrekwinsje elektryske fjilden te feroarsaakje gas discharges, dêrmei foarmje plasma. De ûntslachkeamer is typysk makke fan isolearjende materialen lykas keramyk of glês.
Wurkkeamer: De wurkkeamer is de primêre lokaasje foar materiaalferwurking. Ferskillende ferwurkingseffekten wurde berikt troch ferskate gas-, druk- en machtparameters te kontrolearjen. De wurkkeamer is typysk makke fan materialen mei goede fakuümdichtingseigenskippen, lykas metaal of keramyk.
Evakuaasjesysteem: It fakuümsysteem wurdt brûkt om it gas út 'e wurkkeamer te ekstrahearjen om in fakuümomjouwing te meitsjen tidens de ferwurking. It fakuümsysteem bestiet typysk út in fakuümpomp en besibbe kontrôlesysteem.
Heech-frekwinsje voeding: de hege-frekwinsje voeding leveret enerzjy oan 'e plasmaprosessor, en ionisearje it gas om plasma te foarmjen fia in heech-elektrysk fjild. De hege-stroomfoarsjenning bestiet typysk út elektroanyske komponinten en besibbe kontrôlesystemen.
Automatysk kontrôlesysteem: It automatyske kontrôlesysteem kontrolearret it heule plasmaferwurkingsproses, ynklusyf parameterynstelling, ferwurkingstiidkontrôle, en fakuümnivo-monitoring. It automatyske kontrôlesysteem bestiet typysk út in kompjûter en relatearre kontrôlesoftware.
Derneist binne plasmaprozessors foarsjoen fan in gasfoarsjenningsysteem om de nedige gassen te leverjen oan 'e ûntslachkeamer. Dit systeem bestiet typysk út in gassilinder, in drukregulator, in streamkontrôler en oare komponinten.
Gearfetsjend omfettet de struktuer fan in plasma-prosessor de ûntslachkeamer, in wurkkeamer, in fakuümsysteem, in hege-frekwinsje-voeding en in automatysk kontrôlesysteem. De koördinearre wurking fan dizze komponinten stelt de plasmaprosessor yn steat om ferskate fysike en gemyske reaksjes op it materiaal oerflak te inducearjen, en dêrmei de winske behanneling te berikken.